设备型号

STZK-ZY500

设备外形尺寸

长2000×宽1200×高2310，单位mm

供电电源

380V±15%、50Hz、三相四线制

气源压力

不低于0.5Mpa

适合工件尺寸

直径19mm高度20mm（芯体部件）

净化室箱内尺寸

∮200×300单位mm

净化室保持温度

120℃

净化室极限真空

1pa

充注室箱内尺寸

长610×宽570×高375，单位mm

充注室极限真空

5×10﹣³pa